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半导体产品应用志圣全智能防氧化烘烤箱的技术方案

文章来源: 志圣全智能装备人气:15发表时间:2025/10/22 9:22:51

志圣全智能公司生产的防氧化烘烤箱在半导体制造后道工序中具有核心价值。其采用高纯度不锈钢腔体与氮气循环系统,能在150-400℃范围内实现±0.5℃的精准控温,通过三级过滤装置将氧含量稳定控制在1ppm以下。特殊的快速升降温设计使晶圆受热均匀性达98%,配合智能化湿度监测模块,有效避免 bonding焊盘氧化、电极迁移等缺陷。数据显示,志圣全智能公司采用该技术可使芯片焊接良率提升12%,器件使用寿命延长约30%,同时降低75%的惰性气体消耗量。这种集环境控制、热能管理与智能监测于一体的技术方案,为先进封装工艺提供了可靠的防氧化保障。